本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

[摘要]何小平穿着一件款式土气的貂毛外套，从远处走过来，朱晓娟一眼就认出她，还是一米五几的个子，但身材已发胖。 这是她们26年后的首次见面。 1992年6月3日下午，南充市李渡镇村妇何小平作为刚被聘请的保姆，走进朱晓娟位于重庆市渝中区解放碑的家。七天后，她...

　　何小平穿着一件款式土气的貂毛外套，从远处走过来，朱晓娟一眼就认出她，还是一米五几的个子，但身材已发胖。

　　这是她们26年后的首次见面。

　　1992年6月3日下午，南充市李渡镇村妇何小平作为刚被聘请的保姆，走进朱晓娟位于重庆市渝中区解放碑的家。七天后，她将朱晓娟1岁零3个月的儿子偷走。

　　这个孩子被何小平带回了家，视为“镇命”的工具养起来，“我八字大，命硬，之前死了两个儿子。只有捡个娃儿来养，我自己的娃儿才会活下来”。

　　被拐走前的刘金心。 本文图片看看新闻网

　　被拐走前的刘金心。

　　2018年1月初，何小平声称看了一档电视寻亲节目受到感动，她为了赎罪，主动向警方投案并借助媒体，在重庆大张旗鼓为“儿子”刘金心寻找亲生父母。

　　2月5日，朱晓娟拿到重庆警方的“鉴定文书”，鉴定结果显示：刘金心与朱晓娟、程小平“符合双亲遗传关系”；程俊齐与朱晓娟、程小平“亲权关系不成立”。

　　这一结果让朱晓娟内心五味杂陈。程俊齐是1996年她和前夫程小平从河南找回来的儿子“盼盼”，当时河南省高级人民法院做出的“亲子关系鉴定”称，盼盼与程小平、朱晓娟“具有生物学亲子关系”。

　　河南高院亲子鉴定书。

　　河南高院亲子鉴定书结论。

　　重庆警方的鉴定，犹如多米诺骨牌中的第一张牌，首先推倒河南省高院的鉴定，连锁反应接踵而至。朱晓娟有些难以接受这样的现实冲突，“22年前，一纸亲子鉴定，让我从河南开封领回儿子，抚平了失子的伤痛；22年后，又一纸亲子鉴定，哐当，亲生儿子从天而降，发现之前一直错养着别人的孩子”。

　　更让朱晓娟没法接受的是，在她看来这个亲生儿子是一个“无能”青年，生活落魄，感情失败，酗酒成性，但这一切的罪魁祸首是何小平，“你偷了我的儿子不说，还把他养成这幅样子，现在觉得压力大了不想要了，就想甩包袱。你不能想怎样就怎样”。

　　看着何小平一步步走近，朱晓娟眼里简直要喷出火来。她这次去南充和何小平见面，是怀着满腔怨恨的，早就想好了见到这个女人就扑上去狠揍一顿的。但最后还是克制住了，“想想算了，木已刻舟，打她有什么意义呢”。

　　3月23日下午，在重庆市一家酒店的茶楼里，我第二次采访朱晓娟，我们就从与何小平的这次会见谈起，讲述她纠结而复杂的心路历程。

　　“这是她甩包袱给我们”

　　看看新闻Knews：

　　和何小平见面具体是哪一天？

　　朱晓娟：

　　3月6日。当天上午我带了几个朋友，包括一位律师，就从重庆开车去了南充。中午到的，首先见了儿子刘金心，他听说我要见何小平，当时就很紧张，反对我和她见面。我们后来是背着儿子在当天下午见的。我最先让朋友给何小平打电话约见，她推说没时间。后来是我亲自跟她通话，说来南充了，有些事情有必要和你交涉一下，她就答应见了。

　　看看新闻Knews：

　　你们约在什么地方见的？

　　朱晓娟：

　　我们在一个公园门口等到何小平，然后去了附近的茶楼。在公园门口，我远远就看见她和一个男人走来，穿了一件貂毛外套，款式过时土气。和26年前比，形象有了变化，个子还是一米五几，身材却长胖了，脸也大了。男人是她现任丈夫，2003年她就离婚了，前几年才二婚的。

　　朱晓娟和亲生儿子刘金心。

　　看看新闻Knews：

　　你之前跟我说，永远不想见到何小平。这次为什么要去见她呢？

　　朱晓娟：

　　我恨她，看到她第一眼就烦她。本来打算见了她就扑上去狠狠揍她一顿，但想想算了，木已刻舟，打她有什么意义呢？她见到我表情平静，说：我对不起你，我那时年轻无知，不知道（偷娃儿）这样要犯法，我向你道歉。我觉得这个道歉只是客套，轻描淡写，没有仪式感。如果她跪着给我道歉我会接受，但她没有。我这次去见她，当然不是为了打她，接受她的道歉，而是要和她郑重地交涉一些事情。

　　看看新闻Knews：

　　什么事情？

　　朱晓娟：

　　最近，何小平很多次给一个中间人打电话，说刘金心不听话，酗酒。他在重庆我这里过完春节回到南充后，已经醉酒两次，其中一次整整两天起不了床，最后上了医院。反正只要他一粘酒就失控，胃早就喝出了毛病。

　　何小平不知道我的电话号码，她多次要人转告，让我把娃儿带回重庆。把这个中间人都惹烦了，不想再接她电话，她又换电话打过去。娃儿跟我在电话中也提到何小平曾让他回到重庆我这里来，为这事两人吵过架。之前她也和娃儿提过房子过户的问题，房子是何小平为娃儿结婚买的，买房时登记在娃儿名下。

　　何小平的意思越来越明显，这是她甩包袱给我们。她为娃儿寻亲时说是良心发现，自我赎罪，现在看来她的动机没有那样单纯。你偷了我的儿子不说，还把他养成这幅样子，你是这一切的罪魁祸首，现在觉得压力大了不想要了，想甩出来。你不能想怎样就怎样。

　　看看新闻Knews：

　　你跟她如何交涉的？

　　朱晓娟：

　　我说，如果娃儿发展得好，你会给她寻亲吗？她沉默。陪同去的律师告诉她，她当年拐走孩子，我们作为受害人报了案，重庆市渝中区公安分局打拐办公室也立了案，现在仍可按照正常的刑事诉讼程序展开调查，追究法律责任。我请她明白其中厉害关系，我们没把你弄进监狱都是好的了，刘金心目前这样的状态是你对他的教育和监管不到位造成的，你不能推卸责任。他在你身边，就应该把他管好，不能放任自流。她说，不会推卸。

　　“冒出一个儿子，亲生的，但问题连连”

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　　刘金心的状态真这样不堪？

　　朱晓娟：

　　经过我向娃儿了解，以及何小平的介绍，他原来就酗酒。他在贵阳打工时认识了一个女朋友，也是南充人，两人处了一段时间，去年3月份准备结婚。女方索要彩礼10万，何小平拿不出，婚事搁浅，儿子开始郁闷酗酒，萎靡不振。后来，何小平和女方讨价还价将彩礼说到了6万，但女方见娃儿酗酒又不愿意了，双方闹崩，这桩婚事就黄了。从此，娃儿酗酒更严重，七八月份时甚至到了喝得不省人事的地步。何小平觉得情况严重，带他去医院，医生说娃儿可能患有抑郁症。

　　医生开了相关药物，吃了，整天嗜睡，胃口很好，一下子就长胖了，后来手开始发抖。去看了中医，说药服用过量，不能再吃，否则出人命。停药后精神好一些，但他还是喝酒，一喝就没节制。

　　就是这个时候，何小平开始谋划为刘金心寻亲，主动投案到南充市公安局顺庆区分局打拐办。警方采集了何小平、她前夫和刘金心的DNA，证明娃儿与何小平、她前夫没有血缘关系。娃儿得到结果那天，买了一瓶白酒把自己灌醉，没几天就离开南充，去广州打工进了一家电子厂。仍然是无节制地喝酒。

　　朱晓娟和亲生儿子刘金心。

　　直到2018年1月中旬，辞工从广州回到南充，中途还在贵阳待了十几天。他对贵阳熟，在那里上班断断续续有几年，最长的是在洗脚城干了一年。他多年在外打工，每个地方每次只待几个月，从无进取心。

　　看看新闻Knews：

　　你和刘金心何时联系上的？

　　朱晓娟：

　　2月5日，我拿到重庆警方的“鉴定文书”，鉴定结果显示，刘金心与我、前夫程小平“符合双亲遗传关系”。2月6日，我在小儿子的陪同下，在重庆市公安局渝中区分局会议室和他见面。几天前，我们通过手机微信交流和视频过。整个认亲过程，我心情特别复杂，高兴、激动不起来，几分钟后我就带他回家了。陪娃儿来的是南充3位警官，他们之前以为我还不肯接，不会要娃儿，因为在他们看来他的情况有些糟糕，精神面貌不好。

　　看看新闻Knews：

　　接下来，你和这位失而复得的亲生儿子相处的情况如何？

　　朱晓娟：

　　我带刘金心回家，去逛了解放碑、洪崖洞，买了衣服、鞋袜、双肩包，他原来的穿着打扮老气横秋；还到外婆家，和外婆、小姨一家团聚庆贺了他26年后的回家。

　　在一起待了三天里，我要问他的问题很多，想知道他过去的生活和经历，但好多事情他不愿说，会突然来一句：不要问了嘛。他瘦得皮包骨，脚杆像根甘蔗；眼睛虽大，但看上去茫然、涣散，没有朝气；反应也很迟钝；才27岁，后脑勺的头发差不多都白了。怎么这样呢？看到他这样我心痛。

　　他2月9日一早坐火车回了南充。春节又来重庆家里住了五天。粗略地了解到他的过去：何小平疏于管教，他初中辍学，游荡社会；小时长期逃学，泡在网吧打游戏，最长一次在网吧过了整整7天；因打游戏用眼过度，眼睛非常近视；谈过几次恋爱，喜欢比他年龄大的女孩，说自己有“恋母情结”。

　　他性格自卑、敏感，坐在沙发上抽烟，闷闷不乐的。但让我更担忧的，是他滥酒。他锁骨上有道疤痕，他告诉我是醉酒把锁骨摔断了。他思维迟钝，我担心也是滥酒所致。所以，大年初五他回南充时，我叮嘱他一定把酒戒了，找一份稳定的工作。他说“我晓得了”，每次我讲他的问题时，他总这样回答。

　　结果却让我失望。26年前丢失儿子，以为多年前找回了，但突然又冒出一个，证明是亲生的，却问题连连，这个状态，带给我的感受就是如鲠在喉，咽不下又吐不出。

　　看看新闻Knews：

　　他找到工作了吗？

　　朱晓娟：

　　在南充一个建材市场里一家装修公司找到了工作，做市场销售，工资1800加提成。我们平时保持电话、微信交流，我鼓励他坚强，不自暴自弃，时间是最好的良药，长了可以医治心病，走出阴影。我最近批评了他一回：何小平为什么把你当作包袱甩掉，说穿了是你太无能了。她养了你26年，还给你买了婚房，如果你优秀至少正常，她还会来找我们吗？

　　娃儿春节来了回到南充后，跟他外婆打过电话要她在重庆给他找份工作，还委婉地探问外婆和我的房产情况。我明白他有想法，希望通过寻亲对命运有所改变。我离了婚，还提前退休，主要靠每月二三千元退休工资生活；前夫炒期货曾遭重创，赔光家里几套房，远走上海当股票分析员；娃儿没读什么书，也没技术，他来重庆靠什么活？我不可能把他养起来。让他回南充找工作，就是要他转变观念，能吃得苦，自食其力。

　　“鉴定报告在那里，就没怀疑过他不是亲生的”

　　看看新闻Knews：

　　亲生儿子从天而降，意味着你们1996年从河南找回来的儿子，是别人的孩子。

　　朱晓娟：

　　1月11日晚上22：00，接到一个电话，自称是重庆一家报纸的记者，说找到了我26年前丢失的儿子。我以为是诈骗电话，很反感，因为自己的娃儿很多年前就找到了，当时做了亲子鉴定的，还是河南省高院做的，能有假？她说把报道发我看一下。我通过小儿子的手机看到了刘金心的照片，和小儿子长得太像了，连神态都像。难道真的搞错了？

　　我当晚就失眠了，想了很多，压力很大：如果一切是真的，历经千辛万苦找回的儿子盼盼，我养了22年不是亲生的，那他的亲生父母又在哪里?这对他是多大的伤害，我该怎么面对他？他如何经受得住这个打击？

　　直到重庆警方的亲子鉴定报告出来，我都不敢把这事告诉盼盼，怕他接受不了。他远在河南工作。我专门打电话和前夫程小平商量，达成一致意见：一切顺其自然，他27岁了，见过不少世面，也懂事了，相信他会勇敢面对。

　　重庆警方的鉴定报告。

　　看看新闻Knews：

　　他现在知道了吗？

　　朱晓娟：

　　这件事影响大，盼盼还是知道了。刚知道时他很难过，觉得突然就成了没爹没妈的孤儿。他一直比较懂事，打电话跟我说，妈，我能坚强面对，这事改变不了我们母子之间的感情，你养了我二十几年，我一定孝敬你。他虽然不是我亲生，没有血缘关系，但我会永远把他当儿子。

　　我们母子之间的交流没有受到影响，很顺畅。他曾想春节回家，我没让他回来，这个时候还是敏感期，等大家心里都平静，一切事情处理完了再回来。

　　看看新闻Knews：

　　当年盼盼到底是怎样找回来的？

　　朱晓娟：

　　1993年6月10号，何小平和儿子突然从家中消失，我们报了案，满大街找，四处打听；在全国20个大城市的报刊上刊登寻儿启事；后来专案组成立，都没结果。

　　为纾解失子的痛苦，1993年底我又怀了小儿子。当时是先有生育指标后才能怀，没有指标就生得开除公职。当时我们情况特殊，申请的指标给了，但在这之前早怀上了，因此被罚款几百元。丈夫程小平当时还受这个事影响，第二年就从部队转业地方。我们夫妇不想放弃任何机会，继续寻找儿子，去了很多地方，贵州、云南、福建、湖南、山东等等，只要有线索就会赶过去，日子过得魂不守舍。

　　1995年底，得到线索，河南省兰考县打拐部门解救出了十几个四川孩子。我们辗转联系上兰考县时任公安局局长许大刚。他说，他们确实解救出了12个来自四川的孩子，让我们把孩子的照片发过来，先看看。

　　看了照片，许大刚说，有一个像盼盼。我们夫妇俩赶到河南开封，在开封儿童医院见到了正在患肺炎的盼盼。许大刚向我们介绍，这个孩子经过三道人贩子之手才卖到兰考，身价5900元，1995年7月解救出后一直寄养在他家，喊他爸爸、他妻子妈妈。

　　他到底是不是我们的儿子呢，我们夫妇俩觉得他跟我们丢失的儿子有的地方像、有的地方又不像，加上事隔三年半，孩子也长大了，我们无法辨认，就提出做亲子鉴定。由兰考县公安局委托河南省高级人民法院做，我们交了1500元鉴定费。1996年1月15日，我们接到鉴定通知，这个孩子是我们的儿子；4天后，许大刚打来电话催我们尽快把孩子接走；1月24日，我们将他从许大刚开封家里接走。

　　看看新闻Knews：

　　盼盼和你们生活在一起22年，你们自己、家人以及朋友怀疑过他不是你们亲生的吗？

　　朱晓娟：

　　丢失的娃儿找到了，当时很多人感叹我们的运气好，我自己也感觉是天上掉了馅饼，起初有些恍惚不敢相信这个奇迹。但河南省高院的亲子鉴定报告在那里，我们夫妇就没怀疑过他不是亲生的。

　　接回来的盼盼调皮捣蛋、坐不住，上学后不爱学习，成绩不好；我和程小平都是大学生，静得下来能坐得住，儿子的性格怎么就不像我们呢？一直以为是他被拐到农村那几年受了不良影响。

　　我爸爸是一个敏感的人，孩子回来有段时间后，他有一天提醒我：这孩子找错没有？他觉得小孩越长越不像我们了，圆脸越长越变长了，特别是个子，到高二一下子冲上一米八几。程小平1.67米，我不到1.6米，但我们两个认为娃儿身高可能是基因的隔代遗传；刚接回来时儿子个子偏矮，到七八岁我专门从医院开出增高药给他吃，他长得高很正常，我认为是增高药也起了效果。

　　“我不会忍气吞声，马上启动追责”

　　看看新闻Knews：

　　本来找个保姆带儿子，不料儿子被保姆偷走；本来有可能找到儿子，不料一纸亲子鉴定让你找了个假的。针对这个事件中的相关责任人，你将采取怎样的措施？

　　朱晓娟：

　　22年前，一纸亲子鉴定，让我从河南开封领回儿子，抚平了失子的伤痛；22年后，又一纸亲子鉴定，哐当，亲生儿子从天而降，养了20多年的儿子不是自己的，帮别人养了。而冒出来的这个亲生的，又这幅样子。一个朋友说得好：这是把我撕裂后又重新缝补起来，然后再撕裂开。事发一个多月来，越想越不对劲，越想越心寒心酸，一时难以接受，怎么是这样一个结果呢？

　　当年在医院，医生当着我和程小平、兰考县公安局有关人士的面给盼盼采血、密封。当时能做亲子鉴定的机构不多，整个河南只有省高院可以做，由兰考县公安局委托这个法院鉴定，接收了盼盼的血样，又给我和程小平采了血。

　　我想找找当年亲子鉴定报告上具名的鉴定人齐守文，以及兰考县公安局局长许大刚，搞明白当年到底是哪个环节出了问题。兰考县公安局委托河南省高院所做的这个亲子鉴定报告，背后到底有着怎样的真相，造假目的是什么。

　　齐守文现在是河南省高院政治部副主任；许大刚则因涉嫌受贿、滥用职权犯罪早在2016年8月落马，时任河南商丘市副市长、市公安局局长。（看看新闻Knews记者注：今年2月6日，许大刚案在河南濮阳市中级人民法院一审开庭。公诉机关指控其利用职务上的便利或其职权和地位形成的便利条件，非法收受他人财物共计人民币1057万元、美元5.7万元、欧元3.9万元、港币1万元，为他人谋取利益，构成受贿罪；安排下属违规为他人办理国家明令禁止入户的挂车手续471套，造成恶劣社会影响，构成滥用职权罪。）

　　我一直在等相关责任单位来找我，却久等无动静。我不会忍气吞声，这几天正在咨询北京、重庆等地的律师朋友，马上启动追责。我要向他们讨要一个说法，以及索赔。

　　何小平呢？儿子刘金心已向我表明了态度，他说：妈妈，我求你一个事，你不追究何小平的法律责任吧，这么多年事情都已过去，即使追责也回不到26年前了。这是儿子在护着她。我早就向重庆市公安局渝中区分局提供了系列材料。何小平涉嫌拐卖儿童罪，公安机关已将案件材料移交给检察机关，正在审查起诉。

活动现场氛围温馨而热烈。参赛棋手们精神饱满、沉着应战，在楚河汉界之上排兵布阵、运筹帷幄，车马纵横、落子从容。大家秉持“友谊第一、比赛第二”的原则，凝神对弈、切磋交流，清脆的落子声与阵阵笑语交织，尽显棋艺魅力与人文温度。

城关镇月南区域养老服务中心作为汉阴县首家区域养老服务中心，聚焦“15分钟养老服务圈”建设，为周边社区老人提供助餐、助医、文娱等多元服务，是长者安心乐享晚年的温馨家园。奕林棋苑以此次联谊赛为契机，走进养老服务中心，既丰富了棋苑内部交流形式，也为老年生活增添乐趣，践行社会责任，传递敬老爱老的文明新风。

编辑：邱潮

编审：文婷 黄琪雅

终审：邹菲